報告題目：ROAD TO THE DEVELOPMENT OF MECHANICAL SENSORS USING PIEZORESISTIVE EFFECT

報  告  人: 杉山進(jìn)  教授（Prof. Sugiyama Susumu）

報告時(shí)間：2022年5月20日 下午14:00

報告地點(diǎn)：線(xiàn)上（https://teams.live.com/meet/9588389833612）

研究生院 機電工程學(xué)院

2022年5月19日

報告人簡(jiǎn)介：

杉山進(jìn)教授是日本MEMS技術(shù)的先驅、開(kāi)拓者和領(lǐng)軍人物，被譽(yù)為“日本MEMS之父”，帶領(lǐng)豐田中央研究所半導體研究所的科學(xué)家和技術(shù)人員首次實(shí)現CMOS和MEMS傳感器集成，發(fā)明了第一代用于汽車(chē)安全氣囊的加速傳感器，開(kāi)拓了MEMS產(chǎn)業(yè)化時(shí)代；1997年加入立命館大學(xué)（Ritsumeikan University），創(chuàng )立了MEMS加工實(shí)驗室和參與創(chuàng )建了立命館同步輻射加工中心，在LIGA技術(shù)上作出了突出貢獻。杉山進(jìn)教授是電氣工程師學(xué)會(huì )會(huì )員、日本應用物理學(xué)會(huì )成員、日本機器人協(xié)會(huì )成員、日本機械工程師學(xué)會(huì )成員、日本電子產(chǎn)品封裝研究所成員、美國電氣和電子工程師學(xué)會(huì )成員，并獲得了日本文部省大臣獎，日本電子電氣學(xué)會(huì )終生成就獎。